1、超纯水设备的发展进程
早期超纯水设备的需求主要是来自发电、**化工、造纸等行业，水质要求相对较低，其制备只要采用离子交换，该方法的主要缺点是化学**剂再生，既麻烦又不经济，而且由于强行树脂对一般有机分子除去效果差，出水中TOC含量高，随着半导体工业发展，对超纯水质量要求提高，从而大大的推动了纯水技术的发展，到了上个世纪末，膜技术得到了**的应用，微滤，超滤，电渗析和反渗透技术**的水处理技术得到了飞速的发展，膜法制备纯水取代了传统的离子交换设备系统，解决了TOC问题，满足了电子行业对纯水质量的要求取设备工艺。
传统超纯水制取设备工艺流程：原水&**sh;多介质过滤器&**sh;**过滤器&**sh;**除盐&**sh;混床&**sh;超纯水
膜法超纯水制取设备工艺流程：原水&**sh;超滤&**sh;反渗透&**sh;EDI&**sh;超纯水
在膜法工艺中，超滤，微滤替代澄清，石英砂过滤器，**过滤器，除去水中的悬浮物胶体和有机物，降低浊度，SDI，COD等，可以实现反渗透装置对污水回用的安**，**运行，以反渗透替代离子交换器脱盐，进一步除去有机物，胶体，**等杂志，可以**反渗透出水满足EDI进水的要求，以EDI代替混床深度脱盐，利用电而不是酸碱对树脂再生，避免了二次污染。
2、原水水质概论
水中的杂质按存在的形态的不同可以分为悬浮物，胶体和溶解性固体三种，其中固体含量用总固体量作为指标，把一定量水样在105-110°烘箱中烘干到恒重，所得的重量及为总固含量。
类是悬浮物物指悬浮于水中的物质，颗粒直径在10-4mm以上，如泥沙，粘土，动植物残骸，微生物，有机物，藻类等。
第二类是胶体，指水中带电荷的胶体为例，颗粒直径在10-5mm之间，胶体颗粒是许多分子或离子集合体，这种细小颗粒具有较大的比表面积，从而使他具有特殊的吸附能力，而被吸附的物质往往是水中的离子，因此胶体颗粒带有一定的电荷，如硅铁铝化合物及一些高分子有机物如腐殖质等，也有一些在此粒径范围的**，病**等。
第三类是溶解物，只被水所溶解的，分子或离子状态的溶质或气体如**物，**盐等。
悬浮物和胶体是使天然水产生浑浊的主要原因。
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